| 项目 | 信息 |
|---|---|
| 产品类型 | 全氟聚醚(PFPE)真空泵油 / 氟素油 |
| 包装规格 | 常见 1kg / 罐 |
| 核心特性 | 化学全惰性、不可燃、低蒸汽压,适用于含氧 / 腐蚀性介质环境,安全用于氧气系统,可替代各类真空泵油 |
| 典型应用 | 半导体设备腔体、真空泵密封润滑、强氧化性介质(氧气、臭氧、卤素等)工况 |
| 项目 | 数值 |
|---|---|
| 运动黏度(20°C) | 约 60 cSt(mm²/s) |
| 运动黏度(50°C) | 约 15.5 cSt |
| 运动黏度(100°C) | 约 4.1 cSt |
| ISO 黏度等级 | ISO VG 46 |
| 蒸汽压(Knudsen,20°C) | 约 4×10⁻⁷ torr(极低,适合高真空) |
| 工作温度范围 | −54°C ~ 160°C |
| 最佳使用范围 | −45°C ~ 126°C |
| 闪点 / 燃点 | 不燃(PFPE 特性) |