P-1506XP
- 所属分类：欧美系对标氟油
- 二维码：
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半导体工艺真空泵：刻蚀、沉积、等离子清洗、干法工艺（接触腐蚀性气体） 高真空设备：镀膜机、分子泵前级泵、分析仪器高真空系统 腐蚀性气体输送、富氧环境真空泵、化工腐蚀工况密封与轴承润滑
- 产品描述
✅ 核心原理与成分
基础油为全氟聚醚（PFPE），XP 系列添加专利可溶性防腐抗磨添加剂；不含固体 PTFE 粉，添加剂溶解在油体内，不会析出堵塞真空管路，强防锈、抗腐蚀， 化学惰性：不燃烧、不氧化，几乎不和强酸、强氧化剂、氧气、等离子体工艺气体反应。
📌 参数
- 20℃粘度：60 cSt
- 100℃粘度：4.1 cSt
- 20℃饱和蒸气压：4×10⁻⁷ Torr（极低蒸气压，适合高真空）
- 最高长期使用温度：182℃
- 倾点：约 - 40℃，低温流动性好
- 密度：≈1.87~1.89 g/cm³
- 保质期：原装密封 3 年Krytox
✨ 产品特点
- 极低饱和蒸气压，真空系统极限真空度高，不会挥发污染腔体、晶圆 / 工件，洁净室适用。
- XP 增强防腐防锈：在酸性、氧化性工艺气体（Cl₂、O₂等离子体等）环境，保护泵腔金属，减少腐蚀磨损；
- 化学惰性：与绝大多数橡胶、塑料、金属兼容；不自燃、高温下几乎不裂解。
- 无碳氢结构，不会被等离子体氧化积碳。
- 润滑稳定，使用寿命远长于矿物油、氟化油。
🧪 典型应用场景
- 半导体工艺真空泵：刻蚀、沉积、等离子清洗、干法工艺（接触腐蚀性气体）
- 高真空设备：镀膜机、分子泵前级泵、分析仪器高真空系统
- 腐蚀性气体输送、富氧环境真空泵、化工腐蚀工况密封与轴承润滑
⚠️ 使用注意事项
- 不能与普通真空泵油、其他润滑油混用，会破坏性能；更换油品必须彻底清洗泵体。
- 接触皮肤基本安全，但高温油蒸汽有刺激性，操作佩戴防护手套护目镜。
- 不可排放到普通污水，属于含氟特种危废，按氟油规范回收。
