P-1531XP
- 所属分类：欧美系对标氟油
- 二维码：
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典型应用场景 半导体工艺真空泵（刻蚀、沉积，含腐蚀性气体） 高真空 + 氧气 / 强氧化剂工况设备 镀膜、真空热处理、分析仪器高真空机组 有水汽、潮湿环境，需要兼顾防锈的真空系统
- 产品描述
✅ 核心基础参数
- 类型：全氟聚醚（PFPE）真空泵油，无色 / 浅透明流体
- 20℃粘度：310 cSt
- 100℃粘度：12.5 cSt
- 20℃饱和蒸气压：1×10⁻⁷ torr，低蒸气压，适合高真空
- 最高推荐使用温度：182℃
- 包装常见：1kg、5kg
- 保质期：3 年（密封原装）
✅ 核心特性
- 化学惰性极强：几乎不与强酸、强氧化剂、卤素、纯氧、腐蚀性工艺气体反应；不可燃，氧气系统安全可用，不会自燃爆炸，半导体、腐蚀性工艺首选。
- 低挥发、低返油：极低蒸气压，高真空系统中油的返流少，不容易污染真空腔、晶圆、工件。
- XP 特有防锈配方：添加防锈剂，潮湿工况、含水汽工艺下保护泵内部金属轴承、转子防锈
- 材料兼容性：不腐蚀绝大多数金属、氟橡胶、PTFE；注意：普通丁腈、天然橡胶会溶胀，不能使用。
- 热稳定好：高温下不易裂解、积碳，使用寿命远长于矿物油、硅油真空泵油。
✅ 典型应用场景
- 半导体工艺真空泵（刻蚀、沉积，含腐蚀性气体）
- 高真空 + 氧气 / 强氧化剂工况设备
- 镀膜、真空热处理、分析仪器高真空机组
- 有水汽、潮湿环境，需要兼顾防锈的真空系统
