产品特点

• • 化学稳定性极强：耐强酸，包括极强的路易氏酸，耐强碱，与氟气、SiH4 等特种气体，强腐蚀性物质、强氧化剂、还原剂等均不发生反应。
  • 不燃烧：不含氢元素，耐氧化，无闪点，无自燃点，可避免火灾隐患，满足半导体行业等对安全性的严格要求。
  • 热稳定性优异：蒸发率和降解率极低，能避免残留物质形成，从而维持半导体工业中反应室的纯净度及高真空度。
  • 润滑性能卓越：在较宽的操作温度范围、高负载、高压强情况下，均具有良好的润滑性能，能有效减少磨耗，对真空泵及压缩机等设备维持良好运行性能至关重要。
  • 粘度和蒸汽指标稳定可靠：能保持极低的回流率，持续保证系统的高真空度。
• 应用领域
  • 真空泵和真空系统：适用于各种真空泵和真空系统，是半导体工业真空泵油的理想选择，得到莱宝（Leybold）、爱德华（Edwards）、荏原（Ebara）等世界真空泵制造商的认可。
  • 半导体芯片加工：尤其适用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。
  • 特种气体行业：可用于其他特种气体行业真空系统泵浦中。
• 其他特性：Krytox™1525XP 含有可溶性添加剂，以防止生锈，这些添加剂可驱除湿气，为金属部件和轴承表面提供额外的防腐蚀保护。但需注意，该润滑油中的水溶性添加剂未经过所有材料测试，初步测试表明与特氟隆 Kalrex®、氟橡胶、腈和硅橡胶没有问题，不过这些添加剂在温度长时间超过 175℃（347°F）时，性能可能会下降。