半导体、光伏、等离子刻蚀等高洁净真空制程，普通真空泵油极易挥发、氧化、被腐蚀性气体破坏，造成腔体污染、真空度掉压、泵体频繁维修，拉高产线停机成本。全氟王 P-VPF 1514 全氟聚醚真空氟油专为严苛真空环境研发，是国产高性能 PFPE 真空流体解决方案。

核心产品优势

✅ 极低饱和蒸气压，低出气不污染制程 经过精密精馏工艺，挥发性极低，真空环境下不易析出，不会污染真空腔体、晶圆与精密元器件，保障高真空系统稳定，适配半导体刻蚀、LPCVD、等离子工艺等高洁净生产场景。

✅ 超强化学惰性，耐强氧化、强腐蚀介质 分子链仅由碳、氟、氧构成，C-F 键稳定性极强；耐强酸、强氧化剂、臭氧、卤素及各类腐蚀性工艺气体，不与氧气、活性气体发生反应，可用于富氧真空系统，杜绝油品氧化变质风险。

✅ 不可燃，热稳定性优异 无闪点、不可燃，高温工况下不易分解；宽温域稳定工作，高温不结焦、不积碳，大幅降低真空泵起火风险，提升产线安全等级。

✅ 优异润滑密封，材质兼容性强 对各类金属、氟橡胶、PTFE 等密封件、弹性体友好，不会腐蚀溶胀；兼顾润滑与密封性能，减少泵体磨损，延长真空泵、阀门、轴承使用寿命，降低设备维保频次。

✅ 国产稳定替代，交付可控 全氟王 P-VPF 1514，性能对标进口真空氟油，打破海外物料供货周期长、价格高昂的痛点，支持批量供货，配套完整 TDS、MSDS 技术资料，方便企业合规使用。

典型应用场景

• 半导体：刻蚀、沉积、等离子工艺罗茨泵、旋片式真空泵
• 光伏、光学镀膜真空设备
• 化工强腐蚀、富氧环境真空系统
• 真空腔体、真空阀门、精密轴承润滑密封
• 实验室高真空、腐蚀性气体工况设备

  

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