工业真空、半导体工艺、化工卤素腐蚀工况中，普通润滑脂极易出现挥发析气、腔体污染、被卤素介质分解、阀门密封卡死等故障，直接造成产品良率下降、设备频繁停机维保。全氟王 P‑HhaloVacR 601 氟脂，专为卤素、强腐蚀、中高真空严苛工况开发，高纯 PFPE 全氟聚醚基础油搭配 PTFE 稠化体系，兼顾超低蒸气压、耐卤素腐蚀、宽温稳定、低颗粒析出，可对标进口同类真空氟脂，实现直接替换，解决真空设备润滑密封痛点。

一、产品简介

全氟王 P‑HhaloVacR 601 是一款耐卤素腐蚀型全氟聚醚（PFPE）真空专用润滑脂，NLGI‑2 号稠度，外观为均匀白色膏体，无闪点、不可燃，经过高温除气提纯工艺处理，剔除小分子易挥发组分，放气量低。产品不含硅、无金属皂成分，化学结构稳定，同时具备润滑与密封双重功效，适配存在卤素气体、强氧化剂、强酸强碱的高真空生产环境，满足洁净设备使用要求。

二、核心性能优势

1、耐卤素强化学惰性，抗工艺介质侵蚀

特殊配方体系耐受氯气、溴系、等离子卤素工艺气体、强酸强碱、强氧化剂，油脂不会被腐蚀分解、不结胶，在半导体蚀刻、化工腐蚀阀门工况下脂体稳定，避免润滑失效引发的泄漏、卡阀故障，适配富氧、活性气体系统安全使用。

2、极低蒸气压，低析气减少腔体污染

经过分子蒸馏提纯，真空环境蒸发损耗极低，有效抑制油脂挥发物冷凝在腔体内壁、光学镜片、工件表面，降低晶圆、镀膜产品被油污污染风险，保障真空系统洁净度，支持设备长时间连续运行，减少停机清洁频次。

3、超宽温度稳定，高低温工况不失效

可在‑80℃～204℃温度区间稳定工作；高温环境不碳化、不结焦；低温条件脂体不硬化板结，低温启动扭矩低，兼顾低温设备与连续高温工艺场景，延长补脂周期。

4、优异材料兼容，保护密封件

对不锈钢、各类金属、氟橡胶、EPDM、PEEK、POM 等工程塑料友好，不会造成密封圈溶胀、硬化、应力开裂，用于 O 型圈、阀杆、密封垫片，维持密封弹性，降低阀门卡死、介质渗漏概率。

5、低颗粒析出，适配洁净车间

千级无尘车间生产制造，严控微颗粒生成，无硅污染风险，满足半导体、精密仪器洁净工况，减少微颗粒带来的工艺不良问题，可实现长周期长效润滑，降低运维成本。

三、典型应用场景

• 半导体行业：含卤素工艺真空腔体、等离子设备阀门、O 型圈密封、真空机械手、螺纹密封、刻蚀设备传动部件
• 真空设备：真空镀膜机、真空泵组件、精密真空仪器、模拟试验舱密封润滑
• 化工腐蚀工况：接触卤素、强氧化剂、酸碱气体的阀杆、密封接头、反应釜密封圈
• 航天与精密装备：特种真空仪器、高低温交变精密机构密封润滑
• 洁净室设备：无尘环境阀门、传动滑轨、密封件润滑防护

四、选型说明

全氟王 P‑HhaloVacR 601 氟脂重点面向存在卤素、腐蚀性工艺气体的真空系统；对比普通真空 PFPE 脂，强化卤素介质耐受能力。支持试样上机验证，可直接对标进口型号进行国产化替换，现货供应，缩短交付周期。

温馨提示：不建议与其他类型润滑脂混合使用；涂抹前请清洁部件表面旧油脂与杂质，保障使用效果。如需 TDS、MSDS 资料，可联系我方技术人员索取。

 

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