在半导体镀膜、质谱分析、光学真空设备、腐蚀气体真空机组等高精制程中,普通真空氟油常面临释气偏高、微量返流污染精密元器件、长期高温运行稳定性不足等难题。全氟王 P-Fluorovac 9704S 全氟聚醚氟油,在 9704 基础配方上进一步提纯优化,专为对洁净度、低出气要求更高的高端真空系统打造,实现进口高纯真空氟油国产化替代。
P-Fluorovac 9704S 采用多级超高纯精馏工艺制备线型 PFPE 基础油,分子仅由碳、氟、氧构成,不含活泼氢元素。油品拥有极低饱和蒸气压与优异低释气特性,有效抑制高温工况油雾返流,避免晶圆、光学镜片、检测腔体遭受油污染,满足精密制造洁净制程标准。油品长期连续高温运转不易分解、不结焦、不产生油泥杂质,显著延长真空泵换油周期,降低设备拆洗频次。
产品具备极强化学惰性,耐受强酸、强碱、卤素、氧化剂等各类腐蚀性工艺气体,无闪点、不可燃,富氧、强腐蚀密闭环境可安全运行。与不锈钢、铝合金、氟橡胶、PEEK 等金属及高分子密封材料兼容性优良,不会造成密封溶胀、老化渗漏,适配各类真空机组、真空阀门、腔体传动轴承。
油品拥有均衡宽温域性能,低温流动性稳定,高温工况性能衰减缓慢,兼顾低温启动与长时间连续运行需求。全程千级无尘车间生产,严控杂质含量,整体洁净等级高于常规真空氟油。广泛应用半导体等离子工艺、光学镀膜设备、科研质谱仪器、化工腐蚀真空泵、真空烧结、航天精密真空装置等领域。
P-Fluorovac 9704S 关键理化指标对标进口高纯型号,设备无需调整工艺参数即可直接替换。依托本土量产优势,现货供应稳定,摆脱进口货期长、供应链波动风险,有效降低企业耗材综合成本。
全氟王持续深耕氟素润滑材料研发,可为客户提供油品选型、真空系统换油指导、试样测试等一站式技术支持。若您正在寻找更高洁净等级、低出气长效稳定的真空专用氟油,欢迎咨询 P-Fluorovac 9704S 详细参数与试样方案。

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