小亦虫 XYC105 真空半导体全氟聚醚润滑脂：国产高洁净真空润滑新标杆
2026-05-26
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在半导体先进制程迭代中，高真空、高洁净、强腐蚀环境对润滑材料提出极致要求。小亦虫 XYC105 作为国产真空半导体专用全氟聚醚（PFPE）润滑脂，以超高纯度、超低挥发与化学惰性，打破进口品牌垄断，为半导体设备提供高性价比润滑解决方案。
XYC105 采用高纯度 PFPE 基础油 + PTFE 稠化剂配方，无金属皂与易氧化添加剂，洁净度达ISO 14698-1 Class 100 级，金属离子含量＜10ppb，满足半导体严苛洁净标准。其蒸气压低至10⁻⁸mbar，200℃/24h 挥发率≤0.4%，高真空环境下几乎无挥发污染，杜绝晶圆缺陷风险。同时具备 **-60℃～+220℃宽温稳定性，低温不硬化、高温不结焦，适配半导体设备冷热循环工况。产品化学惰性极强，耐受酸、碱、强氧化剂及 CF₄、O₂等离子体腐蚀，与氟橡胶、PTFE 密封件兼容性优异，长期运行不失效。适配半导体真空辅助设备、刻蚀机、晶圆传输机械臂、真空阀门及封装设备等关键部件，可延长维护周期，降低停机成本。
依托千级无尘车间与全流程品控，XYC105 通过 ROHS 认证，批次稳定性强。相较进口品牌，其价格优势显著，交付周期短，兼顾性能与成本，助力半导体企业实现国产替代降本增效 **。
小亦虫 XYC105 以硬核性能与高性价比，成为半导体真空润滑优选，推动国产特种润滑材料在高端制造领域的突破与应用。
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XYC105 采用高纯度 PFPE 基础油 + PTFE 稠化剂配方，无金属皂与易氧化添加剂，洁净度达ISO 14698-1 Class 100 级，金属离子含量＜10ppb，满足半导体严苛洁净标准。其蒸气压低至10⁻⁸mbar，200℃/24h 挥发率≤0.4%，高真空环境下几乎无挥发污染，杜绝晶圆缺陷风险。同时具备 **-60℃～+220℃宽温稳定性，低温不硬化、高温不结焦，适配半导体设备冷热循环工况。产品化学惰性极强，耐受酸、碱、强氧化剂及 CF₄、O₂等离子体腐蚀，与氟橡胶、PTFE 密封件兼容性优异，长期运行不失效。适配半导体真空辅助设备、刻蚀机、晶圆传输机械臂、真空阀门及封装设备等关键部件，可延长维护周期，降低停机成本。
依托千级无尘车间与全流程品控，XYC105 通过 ROHS 认证，批次稳定性强。相较进口品牌，其价格优势显著，交付周期短，兼顾性能与成本，助力半导体企业实现国产替代降本增效 **。
小亦虫 XYC105 以硬核性能与高性价比，成为半导体真空润滑优选，推动国产特种润滑材料在高端制造领域的突破与应用。
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